第8世代の大型液晶ガラス基板(2500 x 2200)に対応した液晶製造用ベーキング装置。

ガラス基板加熱の温度均一性に優れ、従来より、軽量・薄型、省エネルギー化を実現しました。

大型液晶対応の省エネ・軽量・薄型ホットプレート

ガラス基板加熱の温度均一性がさらにUP!

大型のものについては多分割ゾーン制御で高性能化。

使用するホットプレートの詳細は「ホットプレート」のページを参照して下さい。