XRR(X線反射率)は密度，組成，電気伝導率，光の誘電率･吸収率，結晶構造等
の影響が無く絶対値を測定可能です。

XRF(蛍光X線)はAlからUまでの元素の同時測定。配線膜、メッキなどの厚膜の
測定が可能です。

サンプルの形状に依存しない手置き式ステージ設計で、300mmまのでウエーハ、
200mm x 200mm までのリジット及びフレキシブルな基板に対応できます。

樹脂素材、フィルムから不定形なサンプルまで他種に対応できます。

膜厚測定装置の新規導入やリプレイスに最適な価格設定です。

必要最低限のX線ユニットで初期イニシャルコストを低減します。

納入後のX線ユニット増設も可能です。

最大3つのX線ユニットの選択が可能です。

金属膜や透明膜など 膜厚・密度の絶対値を測定します。

多層膜の膜厚・密度を測定します。

非破壊・非接触測定です。

金属膜の膜厚を短時間で測定します。

化合物の組成比を測定します。

膜厚と組成同時測定が可能です。

積層膜などを分離し膜厚・組成比を測定します。

超薄膜を精度よく測定します。

膜厚・組成同時測定が可能です。

オプションカメラを搭載すれば、小径サンプル、不定形サンプルなどでも的確にX線を照射することが
できます。

Windowsベースの解析ソフト標準搭載。
データベースから平均値、CV値などの 統計処理を行い、自動レポート作成を行うなど多彩な機能を持って
おります。
多点測定などでサンプル均一性なども標準搭載のマッピングソフトで簡単に編集できます。