石英管でクリーンに、発熱体を1,000°Cまで高速昇温！

高効率・省エネ運転

立ち上げ5分で

• 液体(H2O) 1L/min. ＋40°C を連続供給
• 気体(Air) 20L/min. 400°C を連続供給

液体(H2O) 60cc/min. を連続気化供給

液体および気体の加熱供給、液体気化供給用途として使用

加熱容器は石英製の二重管(間接加熱)

流体と発熱体は非接触(石英を介した間接加熱)

発熱体は大気中で使用可能(Max.1,000°C)

(1) 左図下部より連続供給される流体は、二重管外側を流れる

(2) 二重管内側の発熱体を加熱する

(3) 石英管を介した熱伝導および発熱体からの熱放射により加熱
された流体が上部出口から排出される

* 液体気化の場合は、発熱体中央付近で液面が沸騰し、
完全に気化された状態で出口から排出される